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線性測量構(gòu)建

要進行線性測量,需使用隨附的兩個外加螺絲將其中的一個線性反射鏡安裝在分光鏡上,這個組合裝置就是“線性干涉鏡”。線性干涉鏡放置在激光頭和線性反射鏡之間的光路上,用它的反射光線形成激光光束的參考光路,另一束光入射到線性反射鏡,通過線性反射鏡的線性位移來實現(xiàn)線性測量。如下圖所示


激光干涉儀可用于精密機床、三坐標(biāo)的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度的測量。測量時在工作部件運動過程中自動采集并及時處理數(shù)據(jù)。



準(zhǔn)直平臺/傾斜工作臺的測量:由于角度鏡組的不同安裝方式,其測量結(jié)果代表不同方向的角度值。您可以結(jié)合實際需要進行安裝、測量。


在直線度測量過程中,可以由直線度干涉鏡或者直線度反射鏡運動所產(chǎn)生相對于運動軸的橫向移動來進行測量,一般盡可能的采用直線度干涉鏡相對于直線度反射的運動,這樣操作有利于提高測量的準(zhǔn)確性和精度。直線度測量可以對水平面和垂直面進行測量,這取決于直線度干涉鏡和反射鏡安裝的方法。





 







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